透射電子顯微鏡原位STM-TEM測量系統是在標準外形的透射電鏡樣品桿內加裝掃描探針控制單元，通過探針對單個納米結構進行操縱和電學測量，并可在電學測量的同時，動態、高分辨地對樣品的晶體結構、化學組分、元素價態進行綜合表征，大大地擴展了透射電子顯微鏡的功能與應用領域。

性能指標

透射電鏡指標：

● 兼容指定電鏡型號及極靴；

● 可選雙傾版本，雙傾電學測量樣品桿Y軸傾角±25°（同時受限于極靴間距）；

● 保證透射電鏡原有分辨率。

電學測量指標：

● 包含一個電流電壓測試單元；

● 電流測量范圍：１ nA-30 mA，9個量程；

● 電流分辨率：優于100 fA；

● 電壓輸出范圍：普通模式±10 V，高壓模式±150 V；

● 自動電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t）測量，自動保存。

掃描探針操縱指標：

● 粗調范圍：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；

● 細調范圍：XY方向18 um，Z方向1.5 um；

● 細調分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

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