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購(gòu)買(mǎi)臺(tái)式掃描電鏡需考慮哪些參數(shù)

日期:2023-05-08

購(gòu)買(mǎi)臺(tái)式掃描電鏡時(shí),需要考慮以下參數(shù):

分辨率:分辨率是指SEM圖像中兩個(gè)可分辨點(diǎn)之間的距離,通常用納米(nm)作為單位。分辨率越高,SEM圖像的清晰度就越高。因此,購(gòu)買(mǎi)SEM時(shí)需要選擇具有高分辨率的設(shè)備。

加速電壓:加速電壓是指電子束的能量。加速電壓越高,SEM圖像的深度穿透能力越強(qiáng),但同時(shí)也會(huì)使得像散增加。因此,需要根據(jù)具體應(yīng)用選擇合適的加速電壓。

工作距離:工作距離是指電子束與樣品表面之間的距離。選擇合適的工作距離可以提高SEM圖像的清晰度和分辨率。一般來(lái)說(shuō),工作距離越小,SEM圖像的清晰度就越高。

探針電流:探針電流是指電子束的電流。探針電流越大,SEM圖像的亮度就越高。但是,過(guò)高的探針電流會(huì)對(duì)樣品造成傷害,因此需要根據(jù)具體應(yīng)用選擇合適的探針電流。

掃描速度:掃描速度是指電子束在樣品表面移動(dòng)的速度。較快的掃描速度可以提高SEM成像的效率,但同時(shí)也會(huì)使得SEM圖像的清晰度降低。因此,需要根據(jù)具體應(yīng)用選擇合適的掃描速度。

檢測(cè)器:SEM設(shè)備中的檢測(cè)器種類(lèi)繁多,包括二次電子檢測(cè)器(Secondary Electron Detector,SED)、反向散射電子檢測(cè)器(Backscattered Electron Detector,BSED)、能量散射譜儀(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy,EDS)等。不同的檢測(cè)器適用于不同的應(yīng)用場(chǎng)景,需要根據(jù)實(shí)際需求選擇。

操作界面:購(gòu)買(mǎi)臺(tái)式掃描電鏡時(shí),需要考慮操作界面是否易于使用。一些SEM設(shè)備具有簡(jiǎn)單易用的圖形用戶界面,可以降低操作難度,提高工作效率。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

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作者:澤攸科技


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