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掃描電鏡如何生成樣品的表面形貌圖像

日期:2023-08-07

掃描電鏡(SEM)通過(guò)以下步驟生成樣品的表面形貌圖像:

樣品制備: 首先,需要將樣品制備成適合在SEM中觀察的形態(tài)。樣品應(yīng)該是堅(jiān)硬、平整、干凈的,并且可能需要進(jìn)行導(dǎo)電涂層以減少電荷積累效應(yīng)。

真空系統(tǒng)準(zhǔn)備: SEM操作需要在高真空環(huán)境中進(jìn)行,以避免電子束與氣體相互作用。因此,需要啟動(dòng)真空泵以將SEM系統(tǒng)的壓力降低到適當(dāng)?shù)恼婵占?jí)別。

樣品安裝: 將樣品安裝在SEM的樣品臺(tái)上。樣品臺(tái)通常具有可調(diào)節(jié)的XY臺(tái)移動(dòng)功能,以便將樣品表面映射到電子束的掃描區(qū)域。

電子束準(zhǔn)備: 啟動(dòng)電子束并設(shè)置適當(dāng)?shù)碾娮邮鴧?shù),如加速電壓、聚焦、亮度等。這些參數(shù)將影響電子束的性質(zhì)和聚焦效果。

掃描和成像: 將電子束掃描在樣品表面上。在掃描過(guò)程中,電子束與樣品表面的不同區(qū)域相互作用,產(chǎn)生次級(jí)電子(SE)和反向散射電子(BSE)等信號(hào)。這些信號(hào)會(huì)被探測(cè)器捕獲。

信號(hào)采集和處理: 探測(cè)器捕獲次級(jí)電子和反向散射電子等信號(hào),并將其轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。這些信號(hào)被處理并送入圖像顯示系統(tǒng),形成黑白圖像或灰度圖像。

圖像顯示和獲取: 處理后的信號(hào)被送入圖像顯示器,顯示出樣品表面的圖像。圖像可以是灰度圖像,其中不同灰度值對(duì)應(yīng)于樣品表面的不同高度或特性。

圖像分析: 獲取的圖像可以通過(guò)圖像分析軟件進(jìn)行進(jìn)一步處理和分析。可以進(jìn)行像素分析、輪廓提取、粒徑分析、形貌分析等操作,以獲取關(guān)于樣品表面形貌和特性的更多信息。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡如何生成樣品的表面形貌圖像。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢 


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作者:澤攸科技


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