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掃描電鏡中的電子束與樣品之間的距離有何影響

日期:2023-10-27

在掃描電鏡中,電子束與樣品之間的距離是一個重要的參數,通常稱為工作距離或工作距離。這個距離對SEM成像的質量和性能有顯著的影響,以下是一些影響:

成像分辨率: 工作距離會影響SEM的成像分辨率。通常情況下,較小的工作距離可以提供更高的分辨率,因為電子束更聚焦。如果工作距離過大,分辨率可能會下降。

深度和對焦范圍: 工作距離也會影響對焦范圍,即樣品上下表面的焦平面深度。較大的工作距離通常意味著更深的對焦范圍,使您能夠觀察不同深度的樣品部分。

信號強度: 較小的工作距離可以提供更高的二次電子和反射電子信號強度。這對于獲得清晰的圖像和更好的樣品導電性很重要。

樣品表面和幾何: 樣品的表面形狀和幾何特性也會影響工作距離的選擇。復雜的樣品可能需要不同的工作距離以獲得更全的信息。

放大倍數: 工作距離通常會隨著放大倍數的增加而變化。較高放大倍數通常需要較小的工作距離。

在SEM操作中,操作員通常需要選擇適當的工作距離以滿足特定應用的需求。這通常需要一些實驗和調整,以獲得高質量的成像結果。如果工作距離選擇不當,可能會導致分辨率下降、對焦困難或信號強度不足。因此,操作員需要在使用SEM時具備一定的經驗和技能。

ZEM20臺式掃描電鏡

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以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡中的電子束與樣品之間的距離影響。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢 


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作者:澤攸科技


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