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掃描電鏡與樣品的電導性有關嗎?

日期:2025-01-14

掃描電鏡(SEM)與樣品的電導性密切相關。樣品的電導性會影響電子束與樣品表面相互作用的方式,從而影響成像質量和樣品的觀察效果。下面是一些具體影響和原因:

1. 靜電荷積累

掃描電鏡的工作原理是用電子束掃描樣品表面,電子束與樣品表面相互作用后產生各種信號(如二次電子、背散射電子等)供成像和分析。對于 非導電材料,當電子束擊中樣品時,電子無法迅速從樣品表面流走,導致 靜電荷積累。這種積累的靜電荷會使樣品表面帶電,導致以下問題:

圖像失真:靜電荷積累會使樣品表面產生電場,影響電子束的聚焦,導致圖像模糊或失真。

掃描不穩定:靜電荷的積累會使樣品的電勢發生變化,進而影響電子束的掃描路徑,導致成像的不穩定。

2. 電導性好的樣品

對于 導電材料,如金屬或碳材料,電子束能夠順利地從樣品表面逸出,避免了靜電荷積累的問題。因此,導電樣品一般能提供更穩定、更高質量的圖像。

3. 表面涂層

為了避免靜電積累的影響,通常對 非導電樣品 進行 表面涂層,例如涂上一層薄的導電材料(如金、鉑、碳等)。這種涂層可以幫助導出樣品表面的靜電荷,避免影響電子束的掃描,改善圖像質量。

金屬涂層:金屬涂層可以提高樣品的導電性,減少靜電積累。金屬涂層的厚度需要控制,以免遮擋樣品的微觀結構。

碳涂層:碳涂層也是常用的導電涂層,通常用于需要較少干擾的樣品。碳涂層不會完全覆蓋樣品的表面特征,因此適用于需要細致觀察的非導電樣品。

4. 電子束的散射與反射

對于高電導性的材料(如金屬),電子束在與樣品相互作用時,能夠更容易地被 背散射 或反射,從而影響二次電子的生成。相比之下,非導電材料(如塑料或陶瓷)更容易發生 二次電子的發射,因此生成的信號較為強烈,有時可能導致成像質量更好,尤其是在低電壓模式下。

5. 低電壓掃描

對于非導電樣品,使用較低電壓(比如幾千伏特)進行掃描有助于減少靜電荷的積累,同時也能提高圖像的分辨率,因為低電壓下二次電子的生成更為有效。不過,低電壓掃描通常需要更好的 樣品制備,包括適當的導電涂層和表面平整度。

6. 增益和放大設置

電導性差的樣品可能需要 提高增益 或調節 掃描參數 來補償信號的減弱。例如,增加電子束的強度或改變掃描速率,以便更清晰地觀察非導電樣品的表面結構。

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作者:澤攸科技


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