在掃描電鏡（SEM）中，樣品涂層是常見的樣品制備步驟之一，尤其是對(duì)于非導(dǎo)電樣品。樣品涂層的主要作用是增強(qiáng)成像效果，減少一些常見問題的影響。以下是樣品涂層的具體原因及作用：

1. 防止電荷積累

原因：

掃描電鏡依靠電子束與樣品的相互作用成像，非導(dǎo)電樣品容易發(fā)生電荷積累（charging effect）。這些積累的電荷會(huì)干擾電子束，導(dǎo)致圖像出現(xiàn)偽影、亮斑或模糊。

涂層作用：

在樣品表面沉積一層導(dǎo)電材料（如金、鉑或碳），提供一個(gè)電子通路，使電荷能夠流出，避免電荷積累對(duì)圖像的影響。

2. 提高信號(hào)強(qiáng)度和圖像質(zhì)量

原因：

非導(dǎo)電或低導(dǎo)電性樣品可能不能有效產(chǎn)生足夠的二次電子或背散射電子信號(hào)，導(dǎo)致成像對(duì)比度低。

涂層作用：

導(dǎo)電涂層可以增強(qiáng)樣品的二次電子發(fā)射，提高信噪比，從而獲得更清晰的圖像。

3. 保護(hù)樣品表面

原因：

某些樣品（如生物樣品或軟材料）在電子束輻照下可能會(huì)受到損傷（如燒蝕或表面形態(tài)改變）。

涂層作用：

涂層材料可以保護(hù)樣品表面，減少高能電子束直接對(duì)樣品的損傷。

4. 提高表面導(dǎo)電性的一致性

原因：

某些樣品表面可能存在導(dǎo)電性不均勻的情況，會(huì)影響成像結(jié)果。

涂層作用：

均勻覆蓋的涂層材料可消除導(dǎo)電性不均勻?qū)﹄娮邮上竦挠绊懀@得更均勻的圖像。

5. 提高背散射電子信號(hào)的反差

原因：

背散射電子信號(hào)的強(qiáng)度與樣品的原子序數(shù)（Z值）有關(guān)，某些低原子序數(shù)樣品的信號(hào)較弱。

涂層作用：

在樣品表面涂覆高原子序數(shù)的金屬（如金或鉑）可以增強(qiáng)背散射電子信號(hào)，改善圖像反差。

常用涂層材料

金（Au）

高導(dǎo)電性和高原子序數(shù)，適用于高分辨率成像。

但涂層顆粒較大，不適合超高分辨率應(yīng)用。

鉑（Pt）或鈀（Pd）

導(dǎo)電性好，顆粒較小，適合高分辨率要求。

碳（C）

原子序數(shù)低，不影響背散射電子成像的化學(xué)信息。

常用于能量色散 X 射線光譜（EDS）分析，以避免干擾。

鉻（Cr）

表面涂層較薄，適合對(duì)樣品細(xì)節(jié)的觀察。

樣品涂層的制備方法

濺射涂層（Sputter Coating）

適合金、鉑等金屬涂層。

均勻性好，涂層厚度可控。

真空蒸鍍（Vacuum Evaporation）

常用于碳涂層。

涂層厚度適中，不會(huì)覆蓋樣品細(xì)節(jié)。

離子濺射法

用于細(xì)小顆粒的金屬涂層制備。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡中為何需要樣品涂層。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢