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如何調(diào)整掃描電鏡的電子束電流?

日期:2025-03-31

調(diào)整掃描電鏡(SEM)的電子束電流(Beam Current)可以影響成像的分辨率、信噪比和樣品損傷程度。以下是調(diào)整電子束電流的方法及其影響:

1. 通過透鏡孔徑(Aperture)調(diào)整

電子束通過透鏡孔徑時(shí),較小的孔徑會減少束流,提高分辨率但降低信號強(qiáng)度。

增大孔徑可以提高電子束電流,從而增強(qiáng)信號,但可能會降低分辨率。

操作步驟:

進(jìn)入 SEM 控制界面,找到 Aperture Size 選項(xiàng)。

選擇較小的孔徑以提高分辨率,或選擇較大的孔徑以增加電流。

2. 通過槍電流(Gun Current)調(diào)整

電子束的發(fā)射源(如鎢絲、LaB? 或場發(fā)射源)決定了初始電子數(shù)量。

通過調(diào)整發(fā)射源的 Filament Current 或 Emission Current 可以控制電子束電流。

操作步驟:

進(jìn)入 SEM Gun Control 界面。

增大 Filament Current 可提高束流,但可能增加電子源消耗。

適量減少可降低樣品充電效應(yīng)和損傷。

3. 通過聚光透鏡(Condenser Lens)調(diào)整

聚光透鏡控制電子束的聚焦程度,影響束流大小和束斑尺寸。

增強(qiáng)透鏡強(qiáng)度會減少束流,提高分辨率但降低信號強(qiáng)度。

降低透鏡強(qiáng)度會增加束流,提高信號但可能降低分辨率。

操作步驟:

進(jìn)入 Beam Settings,調(diào)整 Condenser Lens Strength。

適當(dāng)調(diào)整以平衡信號強(qiáng)度與分辨率。

4. 通過掃描倍率調(diào)整(僅影響局部電流)

在較高倍率下,電子束覆蓋的范圍變小,局部電子束電流密度增加。

在低倍率下,電流密度較低,成像信號較弱。

操作步驟:

適當(dāng)調(diào)整 Magnification,選擇合適的掃描范圍。

以上就是澤攸科技小編分享的如何調(diào)整掃描電鏡的電子束電流。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請咨詢 


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作者:澤攸科技


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