在掃描電鏡（SEM）中定位同一位置進行多次觀察，是實現(xiàn)重復(fù)成像、前后對比、時間演化研究的重要操作。為了確保能準(zhǔn)確返回到相同區(qū)域，可通過以下幾個方法來實現(xiàn)：

1. 使用樣品臺的坐標(biāo)記錄功能

大多數(shù) SEM 配備了帶有 X、Y、Z、傾斜角（T）、旋轉(zhuǎn)角（R）的電動樣品臺，可以精確記錄并返回指定位置。

第一次觀察時，記錄當(dāng)前樣品臺的 X、Y、Z、T、R 坐標(biāo)值；

再次觀察時，將樣品臺移動回相同坐標(biāo)；

精度較高，適用于大多數(shù)重復(fù)定位需求。

2. 在樣品上制作標(biāo)記

如果樣品表面特征不明顯，可人工添加輔助定位標(biāo)記：

用針尖在樣品或支撐基片上刻劃微小十字、線條、凹點等；

使用光刻、微球、金屬顆粒等人為布點；

標(biāo)記應(yīng)在目標(biāo)區(qū)域附近但不遮擋目標(biāo)，以便導(dǎo)航；

借助低倍圖像先找到標(biāo)記，再逐步縮小至目標(biāo)區(qū)域。

3. 拍攝導(dǎo)航圖并建立坐標(biāo)參照

首先用較低倍率（如50×或100×）拍攝整塊樣品或較大區(qū)域的圖像；

在圖中標(biāo)注你感興趣的位置；

之后再通過這些導(dǎo)航圖，結(jié)合臺面移動、方向調(diào)整，找回該點；

特別適用于手動樣品臺或無電控記憶功能的系統(tǒng)。

4. 使用軟件提供的“記憶點”功能

部分掃描電鏡帶有“Stage Memory”或“Navigator”等模塊：

可在軟件中添加多個“收藏點”或“感興趣區(qū)域”（ROI）；

一鍵切換至指定觀察位置；

特別適用于大面積樣品、多區(qū)域?qū)Ρ扔^察等場景。

5. 利用特征結(jié)構(gòu)定位

如果樣品表面有天然形貌（如晶體邊界、顆粒分布、劃痕等）：

選擇靠近目標(biāo)區(qū)域的獨特形貌作為參照；

每次觀察前從該結(jié)構(gòu)出發(fā)，用固定路徑移動；

適用于生物樣品、材料組織等自然結(jié)構(gòu)明顯的樣品。

6. 固定樣品安裝方式

保證每次安裝樣品時方向一致（如膠帶對齊、標(biāo)記箭頭等）；

若使用樣品架（stub），盡量使用帶有方向標(biāo)記的專用樣品座；

這樣能減少旋轉(zhuǎn)誤差，提升重復(fù)定位的效率。