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掃描電鏡成像為什么有亮暗對比?

日期:2025-08-22

亮暗對比是掃描電鏡(SEM)圖像基本的特征之一。亮暗對比的形成,主要來自樣品表面與電子束相互作用后信號的差異。可以從幾個方面理解:

1. 材料成分差異

不同元素的原子序數不同,對入射電子的散射和能量損失程度不同。

原子序數高的區域(比如金、鉑等重元素)會產生更強的背散射電子信號,圖像上顯得更亮。

原子序數低的區域(如碳、氧等輕元素)背散射電子少,看起來更暗。

這就是所謂的 成分對比。

2. 表面形貌差異

表面形貌會影響二次電子的發射量。

當表面有 凸起、銳利邊緣 時,二次電子容易逃逸出來,信號更強,局部顯得更亮。

在 凹陷或陡峭谷底,電子容易被重新吸收或難以逸出,信號減弱,圖像就暗。

這就是 形貌對比,通常用二次電子像來體現。

3. 樣品電荷效應

非導電樣品在電子束轟擊下會積累電荷,造成電子逸出不均:

可能出現局部過亮(電子積聚,增強信號)。

或者過暗(電荷排斥入射電子,信號減弱)。

4. 電子束與樣品的入射角

電子束傾斜入射或樣品表面角度不同,也會影響信號采集。傾斜表面往往有更高的二次電子產額,看起來更亮。


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作者:澤攸科技


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