掃描電鏡的Z方向調(diào)節(jié)對焦有何技巧？

掃描電鏡（SEM）中，Z方向調(diào)節(jié)即樣品臺的上下移動，直接影響樣品表面與電子槍之間的工作距離（WD, working distance），對焦的準確性和成像質(zhì)量高度依賴這個參數(shù)。

掃描電鏡中真空度不夠會產(chǎn)生什么影響？

掃描電鏡（SEM）工作時對真空度要求較高，若真空度不夠（即腔室壓力偏高），會對成像質(zhì)量和設(shè)備運行產(chǎn)生一系列不良影響。

樣品表面污染會顯著影響掃描電鏡（SEM）成像質(zhì)量，具體表現(xiàn)和影響如下：

使用掃描電鏡（SEM）觀察樣品在某些情況下確實可能造成樣品損傷。這種損傷取決于樣品的材質(zhì)、電導(dǎo)率、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性、電子束參數(shù)等。

掃描電鏡（SEM）成像過程中出現(xiàn)的偽影（artifact）是影響圖像質(zhì)量和判讀準確性的重要問題。

在掃描電子顯微鏡（SEM）中，掃描速度指的是電子束在樣品表面每個像素上停留的時間，通常通過設(shè)置“幀時間”或“像素駐留時間”來調(diào)節(jié)。

掃描電鏡（SEM）中的“電荷積聚”（Charging）現(xiàn)象是指非導(dǎo)電樣品在電子束照射下無法及時釋放電荷，導(dǎo)致電子在樣品表面積累。

要保存高質(zhì)量的掃描電鏡（SEM）圖片，需要從拍攝參數(shù)、文件格式、后期處理和存儲管理等方面進行系統(tǒng)優(yōu)化。