掃描電鏡檢測器的工作原理可以根據(jù)不同類型的檢測器而有所不同。以下是幾種常見掃描電鏡檢測器的工作原理簡介：

二次電子檢測器：二次電子檢測器主要用于觀察樣品表面的形貌信息。當(dāng)樣品被掃描電子束照射時(shí)，樣品表面的原子與電子發(fā)生相互作用，產(chǎn)生一部分能量較低的二次電子。二次電子檢測器通過將樣品表面的二次電子收集起來，放大和探測，生成顯微圖像。這種檢測器對(duì)于樣品表面的形貌特征比較敏感。

回散射電子檢測器：回散射電子檢測器用于分析樣品的成分和結(jié)構(gòu)信息。當(dāng)樣品被掃描電子束照射時(shí)，部分電子被樣品原子的核吸引，并發(fā)生回散射。回散射電子的能量和角度與樣品的成分和密度相關(guān)。回散射電子檢測器通過收集和探測回散射電子，并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，以獲得樣品的成分分布和結(jié)構(gòu)信息。

X射線能譜儀（： X射線能譜儀用于分析樣品的化學(xué)成分。當(dāng)樣品被掃描電子束照射時(shí)，樣品中的原子會(huì)被激發(fā)并發(fā)射出特定能量的X射線。EDS檢測器通過收集這些X射線，并將其能譜轉(zhuǎn)換為電信號(hào)進(jìn)行分析。通過分析X射線的能量和強(qiáng)度，可以確定樣品中存在的元素種類和相對(duì)含量。

這些只是掃描電鏡檢測器中的幾個(gè)常見類型，實(shí)際上還有其他類型的檢測器，如探針顯微鏡（如原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡）的工作原理與上述有所不同。不同的檢測器通過收集、轉(zhuǎn)換和探測樣品表面產(chǎn)生的信號(hào)，將其轉(zhuǎn)化為可視化圖像、電信號(hào)或能譜信息，從而提供有關(guān)樣品表面形貌、成分、結(jié)構(gòu)等方面的信息。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡檢測器的工作原理。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢